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LITHOBOLT™

芯片到晶圆 (D2W) 混合键合式固晶是通过芯片组技术将单片系统 (SoC) 设备重新设计为 3D 堆叠芯片的关键工艺——将具有不同工艺节点的芯片组合成先进的封装系统,可以为新应用提供动力,例如 5G、高性能计算(HPC)和人工智能(AI)。 ASMPT 的下一代 IC 互连解决方案——LithoBolt™——用于芯片到晶圆 (D2W) 混合键合的混合键合机,使异构集成的整体互连解决方案更臻完善。
  • 产品描述
  • 底部详情
  • 超高精度混合键合式固晶

    特色

    与前端制程兼容的工具设计
    为 Chiplet 集成而设计
    D2W 混合键合的灵活工艺能力

    关键词:
    • 半导体
    • 欧姆接触
    • 过渡金属
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关键词:芯片 框架 处理能力 系统

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