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面板电镀 - Stratus™ P500 (电化学沉积 (ECD) 面板)
所属分类: 沉积方案
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ECD 510 x 515 mm 面板加工
应用
可配置多达 5 种不同的电镀材料
多晶扇出
SoC 封装
MicroLED
特点晶圆级精度硬件和软件
Cu、Sn(Ag)、Ni 和 Au 电镀 @<10µm L/S
单面 / 双面电镀
膜电池提供高化学利用率
多区阳极，优化厚片和薄片的均匀性
带图案的屏蔽层可实现均匀的高通量电镀|
材料510×515 mm 面板, 定制
玻璃、复合材料、其他
关键词：芯片 框架 处理能力 系统
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