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晶圆溅镀 – Apollo 300 (物理气相沉积 (PVD) 晶圆)

所属分类: 沉积方案

  • 产品描述
  • 底部详情
  • PVD 200-300 mm 晶圆加工

    应用

    可配置多达 5 种不同的电镀材料
    底部金属化沉积 (UBM) / 再布线 (RDL)
    扇出
    射频过滤器
    功率器件

    特点

    桥接能力:尺寸变化
    除气 / 退火
    感应耦合电浆 (ICP) 蚀刻 / 电容式耦合电浆(CCP) 蚀刻

    材料

    200 mm 和 300 mm 晶圆
    翘曲晶圆和重晶圆加工
    硅片、环氧模塑料 (EMC)、重分配芯片封装 (RCP)、玻璃、Bonded

    其他产品

    Apollo 200

    关键词:
    • 半导体
    • 欧姆接触
    • 过渡金属
晶圆溅镀 – Apollo 300 (物理气相沉积 (PVD) 晶圆)
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  • 晶圆溅镀 – Apollo 300 (物理气相沉积 (PVD) 晶圆)

关键词:芯片 框架 处理能力 系统

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