所属分类: 扫描电镜
光学显微镜:放大 20
灯丝材料:1,500 小时 CeB 6 灯丝
加速电压:5 kV
电镜放大:65,000
分辨率:优于 25 nm
抽真空时间:小于 15 秒
探测器:背散射电子探测器
关键词:芯片 框架 处理能力 系统
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