NUCLEUS 系列

全效高精度取放系统

尺寸

宽 x 深 x 高
1,460 x 2,300 x 2,100 mm

特色

晶圆级扇出工艺及嵌入式封装的先驱
支持覆晶及直接固晶模式，并可执行局部对准及整体对准
特大基板处理能力
支持特大固晶压力及热压固晶工艺
配置全自动工具转换系统，实现多晶固晶工艺
固晶制程符合洁净度 100 级的要求

其他配置

NUCLEUS XD: 70mm x 70mm 超大芯片处理能力
NUCLEUS XLplus: 600mm x 670mm 超大基板处理能力
关键词:
- 半导体
- 欧姆接触
- 过渡金属